無機酸の場合、非金属元素の酸化物-は、酸と同じ酸化状態であれば-、酸無水物として機能します。たとえば、炭酸では、炭素の酸化状態は +4 になります。したがって、その酸無水物は二酸化炭素です。
有機酸の場合、脱水プロセスを通じて無水物を得ることができます。まず、水素イオンの数が偶数になるように、化学量論係数を酸式の前に置きます（カウントがすでに偶数の場合、このステップは不要です）。続いて、1 つ以上の H2O 分子が除去されます。たとえば、CH3COOH には水素イオンが 1 つだけ含まれています。まず化学量論係数 2 を接頭辞として付け、次に H₂O を 1 分子除去すると、その酸無水物である (CH₃CO)₂O が得られます。同じ論理により、酸に 3 つの水素イオンが含まれている場合、化学量論係数 2 が適用され、その後 3 つの水分子が除去されます。
酸化アルミニウム (Al2O3) は、水酸化アルミニウム [Al(OH)3] の脱水によって形成されます。これは、水酸化アルミニウムが HAlO₂・H₂O (メタ-アルミ酸) として再配合される可能性があるために起こります。脱水すると酸化アルミニウム [具体的には 2(HAlO2・H2O) → Al2O3・2H2O (脱水) → Al2O3] が得られます。
